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分子泵用电磁悬浮轴承技术

3372018/08/21
基本信息
  • 需求标题 分子泵用电磁悬浮轴承技术
  • 需求主体 企业用户
  • 行业领域 先进制造技术
  • 需求类型
  • 需求介绍 企业想开发分子泵,需求电磁悬浮轴承技术。目前德国、日本有分子泵,国内生产厂家有中科院北京科学仪器厂,国外产品已实现泵与电源一体化,研发分子泵的关键在于磁悬浮轴承,国内有成熟的磁悬浮轴承厂家,相应用到真空泵方面,需考虑轴承尺寸问题。