西部产学研在线服务平台
| 关注我们
扫描二维码
口袋专利

专利在线查询

描二维码
西部产学研在线

官方公众号

|关于我们
平台简介 帮助中心
|网站导航
| 咨询热线：029-88202821
您当前的位置：科技成果 > 具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片

具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片

2542018/08/17
咨询成果 发布成果
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 成果持有方 西安电子科技大学
  • 行业领域 微电子
  • 项目名称 具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片
  • 知识产权 发明专利
  • 成果成熟度
  • 项目简介 具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片，包括：传感器本体；应力隔离元件，应力隔离元件包括一对横向设置的隔离梁和设置于所述隔离梁之间的隔离框，所述隔离梁两端与所述传感器本体相连，所述隔离框通过连接部与所述隔离梁相连；敏感元件，敏感元件包括质量块和一对横向设置的挠性梁，所述挠性梁连接所述质量块和所述隔离框；压敏电阻，压敏电阻以所述质量块的中心为对称中心对称设置于所述质量块的两侧，且位于连接部的宽度范围内；设置于所述传感器本体上的金属焊盘，所述压敏电阻通过引线与所述金属焊盘相连。本发明的传感器芯片具有结构合理，封装工艺简单，稳定性高，便于大规模、低成本生产的特点。
交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2018/01/19
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 分享至：