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耐高温碳化硅欧姆接触结构

2202018/08/17
咨询成果 发布成果
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 成果持有方 西安电子科技大学
  • 行业领域 先进制造技术
  • 项目名称 耐高温碳化硅欧姆接触结构
  • 知识产权 发明专利
  • 成果成熟度
  • 项目简介 本实用新型涉及一种耐高温碳化硅欧姆接触结构，包括：SiC衬底(10)、SiC外延层(20)以及依次设置于所述SiC外延层表面的Ni金属层(30)、W金属层(40)、TaSi2金属层(50)、Pt金属层(60)。本实用新型提供的耐高温碳化硅欧姆接触结构在高温、空气环境下有着良好热稳定性和电学特性。
交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2018/01/19
  • 委托机构 西安电子科技大学
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