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欧姆接触结构

3202018/08/15
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 成果持有方 西安电子科技大学
  • 行业领域 电子元器件
  • 项目名称 欧姆接触结构
  • 知识产权 发明专利
  • 成果成熟度
  • 项目简介 本实用新型涉及一种欧姆接触结构,包括:SiC衬底层(10)和依次位于所述SiC衬底层(10)之上的SiC外延层(20)、第一Ni层(30)、Ti层(40)、Al层(50)、第二Ni层(60)、TaSi2层(70)、Pt层(80)。本实用新型欧姆接触结构具有抗老化、电学特性稳定、且在高温、空气环境下有着良好性能。
交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2018/02/23
  • 委托机构 西安电子科技大学
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