欧姆接触结构
320
2018/08/15
基本信息
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成果类型
高等院校
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委托机构
西安电子科技大学
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成果持有方
西安电子科技大学
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行业领域
电子元器件
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项目名称
欧姆接触结构
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知识产权
发明专利
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成果成熟度
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项目简介
本实用新型涉及一种欧姆接触结构,包括:SiC衬底层(10)和依次位于所述SiC衬底层(10)之上的SiC外延层(20)、第一Ni层(30)、Ti层(40)、Al层(50)、第二Ni层(60)、TaSi2层(70)、Pt层(80)。本实用新型欧姆接触结构具有抗老化、电学特性稳定、且在高温、空气环境下有着良好性能。
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交易信息
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意向交易额
面议
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挂牌时间
2018/02/23
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委托机构
西安电子科技大学
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