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电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法
电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法
492
2020/06/11
基本信息
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成果类型
高等院校
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委托机构
西北工业大学
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成果持有方
西北工业大学
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行业领域
先进制造技术
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项目名称
电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法
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知识产权
发明专利
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成果成熟度
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项目简介
本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法,属于智能光功能器件领域,主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。器件主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6。本发明提出的基于PCB的电磁驱动双向调谐珐珀滤波器具有大的可调谐范围,能大幅度增加器件的工作波段,大幅度减小珐珀滤波器的整体尺寸。通过调节不同子多层线圈内电流的大小和方向可以微调器件的可动部分,从而克服加工及装配误差,保持上下两镜面平行;同时,其制作工艺采用3D打印、标准PCB加工、粘接等工艺,成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
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交易信息
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意向交易额
面议
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挂牌时间
2021/06/11
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委托机构
西北工业大学
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