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面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法
面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法
471
2020/06/11
基本信息
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成果类型
高等院校
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委托机构
西北工业大学
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成果持有方
西北工业大学
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行业领域
微系统工程
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项目名称
面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法
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知识产权
发明专利
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成果成熟度
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项目简介
发明公开了一种面向精度设计的硅微机械陀螺系统参数获取方法,属于微机电系统设计领域。该方法通过建立参数之间的关联,给出一套从陀螺精度指标出发,考虑精度,电路噪声,带宽,灵敏度,谐振频率,品质因数,机械噪声,寄生电容,反馈电容,电容分辨率,驱动位移,激励电压等参数,以中心电容为结束的完整设计流程,为硅微机械陀螺的精度设计提供指导方法。本专利通过建立参数之间的关联,克服硅微机械陀螺参数复杂、多样的特点对设计者造成的困扰,完成面向精度的陀螺系统参数设计。
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交易信息
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意向交易额
面议
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挂牌时间
2021/06/11
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委托机构
西北工业大学
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