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基于γ面LiAlO2衬底上黄光LED材料及其制作方法
基于γ面LiAlO2衬底上黄光LED材料及其制作方法
280
2018/08/14
基本信息
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成果类型
高等院校
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委托机构
西安电子科技大学
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成果持有方
西安电子科技大学
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行业领域
电子元器件
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项目名称
基于γ面LiAlO2衬底上黄光LED材料及其制作方法
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知识产权
发明专利
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成果成熟度
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项目简介
本发明公开了一种基于γ面LiAlO2衬底上黄光LED材料及其制作方法。其生长步骤是:1)将γ面LiAlO2衬底置于MOCVD反应室中进行热处理;2)在热处理后的衬底上生长厚度为10‑200nm的低温成核层;3)在成核层之上生长厚度为0.2‑100μm,O掺杂浓度为3×1017cm‑3~3×1019cm‑3,C掺杂浓度为1×1017cm‑3~2×1019cm‑3的高温有源层;4)在有源层之上生长厚度为0.01‑10μm,Mg掺杂浓度为2×1017cm‑3~3×1019cm‑3的高温p型GaN层。本发明具有工艺简单,成本低,发光效率高的优点,可用于制作非极性m面GaN黄光发光二极管。
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交易信息
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意向交易额
面议
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挂牌时间
2018/03/06
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委托机构
西安电子科技大学
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