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绝缘栅型直角复合源场板功率晶体管

1932020/04/14
咨询成果 发布成果
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 成果持有方 西安电子科技大学
  • 行业领域 微电子
  • 项目名称 绝缘栅型直角复合源场板功率晶体管
  • 知识产权 发明专利
  • 成果成熟度
  • 项目简介 本发明公开了一种绝缘栅型直角复合源场板功率晶体管，主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、台面(6)、绝缘介质层(7)、绝缘栅极(8)、钝化层(9)和保护层(13)，钝化层(9)内刻有凹槽(10)，凹槽(10)内完全填充有高介电常数介质(11)，钝化层(9)与保护层(13)之间淀积有一字形源场板(12)，一字形源场板靠近绝缘栅极一侧边缘与凹槽靠近绝缘栅极一侧边缘对齐，并将一字形源场板与源极电气连接；一字形源场板与高介电常数介质构成直角复合源场板。本发明具有工艺简单、击穿电压高、可靠性高和成品率高的优点。
交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2021/04/14
  • 委托机构 西安电子科技大学
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