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一种具有连通型存储层的高压IGBT及其制造方法

1802019/11/20
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安理工大学
  • 成果持有方 西安理工大学
  • 行业领域 先进制造技术
  • 项目名称 一种具有连通型存储层的高压IGBT及其制造方法
  • 知识产权 发明专利
  • 成果成熟度
  • 项目简介 本发明公开了一种具有连通型存储层的高压IGBT,在n‑硅衬底的上方中间沟槽内和两侧的平面部分有栅氧化层,栅氧化层上方设有T型的多晶硅层,称为沟槽‑平面栅极G;沟槽‑平面栅极G两侧n‑型硅衬底上各设有一个p基区,每个p基区内设有n+发射区,n+发射区上表面与p基区短路构成发射极E;在整个有源区内n‑漂移区上方与p基区相接处,设有连通的n存储层;在n‑漂移区下方依次设有n场阻止层、p+集电区、集电极C。本发明还公开了上述的具有连通型存储层的高压IGBT制造方法。本发明的高压IGBT结构,大幅度降低器件导通时的饱和电压,阻断电压高、导通损耗极低、闩锁电流密度较高、饱和电流密度较低。
交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2021/11/19
  • 委托机构 西安理工大学
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