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一种具有连通型存储层的高压IGBT及其制造方法
一种具有连通型存储层的高压IGBT及其制造方法
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2019/11/20
基本信息
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成果类型
高等院校
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委托机构
西安理工大学
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成果持有方
西安理工大学
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行业领域
先进制造技术
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项目名称
一种具有连通型存储层的高压IGBT及其制造方法
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知识产权
发明专利
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成果成熟度
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项目简介
本发明公开了一种具有连通型存储层的高压IGBT,在n‑硅衬底的上方中间沟槽内和两侧的平面部分有栅氧化层,栅氧化层上方设有T型的多晶硅层,称为沟槽‑平面栅极G;沟槽‑平面栅极G两侧n‑型硅衬底上各设有一个p基区,每个p基区内设有n+发射区,n+发射区上表面与p基区短路构成发射极E;在整个有源区内n‑漂移区上方与p基区相接处,设有连通的n存储层;在n‑漂移区下方依次设有n场阻止层、p+集电区、集电极C。本发明还公开了上述的具有连通型存储层的高压IGBT制造方法。本发明的高压IGBT结构,大幅度降低器件导通时的饱和电压,阻断电压高、导通损耗极低、闩锁电流密度较高、饱和电流密度较低。
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交易信息
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意向交易额
面议
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挂牌时间
2021/11/19
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委托机构
西安理工大学
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