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一种SiC欧姆接触结构

3182018/08/09
咨询成果 发布成果
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 成果持有方 西安电子科技大学
  • 行业领域 电子元器件
  • 项目名称 一种SiC欧姆接触结构
  • 知识产权 发明专利
  • 成果成熟度
  • 项目简介 本实用新型涉及一种SiC欧姆接触结构，包括：SiC衬底11；第一Ni层12，设置于所述SiC衬底11上；Ti层13，设置于所述第一Ni层12上；第二Ni层14，设置于所述Ti层13上；TaSi2层15，设置于所述第二Ni层14上；Pt层16，设置于所述TaSi2层15上。本实用新型提供的SiC欧姆接触结构提高了欧姆接触的热稳定性和抗氧化性能。
交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2018/03/30
  • 委托机构 西安电子科技大学
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