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一种可抑制波动的直拉硅单晶炉液位检测方法

1682019/11/19
咨询专利 发布专利
基本信息
  • 专利类型 高等院校
  • 委托机构 西安理工大学
  • 专利持有方 西安理工大学
  • 行业领域 其他
  • 项目名称 一种可抑制波动的直拉硅单晶炉液位检测方法
  • 知识产权 发明专利
  • 项目简介 本发明公开了一种可抑制波动的直拉硅单晶炉液位检测方法，在单晶炉炉盖上安装线性激光发射装置和面阵CCD摄像机，激光光源发射的激光线在面阵CCD摄像机中成像，利用面阵CCD摄像机拍摄的图像与上一帧图像做差，结果转换为二值化图像，对二值化图像进行8连通区域分析，得到若干个激光光斑的区域，计算每个激光光斑的形心，得到每个激光光斑的形心的纵坐标，利用投票机制对所有光斑形心的纵坐标进行投票，得到票数最多的纵坐标为该帧图像线激光形心的纵坐标，再利用卡尔曼滤波对线激光形心的纵坐标进行修正或者补偿，最后对修正或补偿后的数据进行平滑，并且用坩埚绝对位移进行标定得到液位的位置信息。采用本发明液位检测方法可以提高液位测量的精度。
交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2021/11/05
  • 委托机构 西安理工大学
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