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一种电阻浸入式微推进器及其制备方法

962019/11/14
咨询专利 发布专利
基本信息
  • 专利类型 高等院校
  • 委托机构 西北工业大学
  • 专利持有方 西北工业大学
  • 行业领域 航空宇航制造工程
  • 项目名称 一种电阻浸入式微推进器及其制备方法
  • 知识产权 发明专利
  • 项目简介 本发明公开了一种电阻浸入式微推进器及其制备方法,属于微推进技术领域。该推进器依次包括燃烧室阵列部分、点火器层、以及喷嘴阵列部分；燃烧室阵列部分通过刻蚀SOI硅片形成；喷嘴阵列为硅片表面贯通的空腔阵列组成；点火器层由SOI硅片上表面溅射的点火电阻2阵列，点火导线3和焊盘4组成，各点火电阻2与各燃烧室及喷嘴1位置相对应；火药将各燃烧室单元填满并部分填充所述喷嘴阵列的空腔单元，使得各点火电阻2单元完全浸入在火药中。本发明的有益效果是：将点火器层集成在SOI硅片的上表面，利用SOI硅片的器件层浸入在火药中，与火药充分接触，点火电阻通电时将热量传递至燃烧室内的火药，避免了部分热量的无关散失，极大提高了点火的成功率。
交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2020/11/14
  • 委托机构 西北工业大学
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