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一种非晶导电碳膜的制备方法
一种非晶导电碳膜的制备方法
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2019/10/30
基本信息
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专利类型
高等院校
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委托机构
西安理工大学
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专利持有方
西安理工大学
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行业领域
材料科学与工程
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项目名称
一种非晶导电碳膜的制备方法
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知识产权
发明专利
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项目简介
本发明公开了一种非晶导电碳膜的制备方法,采用蒸镀仪进行制备,在室温下,将碳绳固定在蒸发源上,随后将基板放入基片托片上并固定好,调节蒸镀仪的电流至40~50A,进行蒸镀,碳绳断裂,则停止蒸镀,冷却后,即得非晶导电碳膜。本发明利用蒸镀仪进行非晶导电碳膜的制备,不需要复杂、昂贵的设备,且制备工艺简便、工艺参数易于控制,能大大地降低生产成本;此外,本发明方法可在不同的基板以及不同的沉积气氛下制备出薄膜质量较好的非晶导电碳膜。
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交易信息
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意向交易额
面议
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挂牌时间
2021/10/15
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委托机构
西安理工大学
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